Prazni'''Krepko prostoribesedilo'''''Ležeče besedilo''ostori med atomi, ki so v idealni kristalni mreži nezasedeni: vrzeli ali intersticije, so dosti manjši od osnovnih atomov. Zato lastni intersticijski atom močno popači kristalno mrežo v svoji okolici. Posledično je aktivacijska energija za nastanek lastnega intersticijskega atoma zelo veliko in v [[kovina]]h je v ravnotežju zelo malo lastnih intersticijskih atomov. Mnogo več lastnih intersticijskih atomov lahko ustvarimo, če kovine in tudi druge snovi obstreljujemo s hitrimi ioni ali nevtroni, nastajajo pa tudi pri plastični deformaciji. Vendar so ti intersticijski atomi neravnotežni, zato jih odpravimo, če žarimo materiale pri temperaturah, ko je [[difuzija]] dovolj velika.
V bolj odprtih kristalnih strukturah nekovinskih kristalov je tudi ravnotežna koncentracija lastnih intersticijskih atomov precej velika.
