Redakcija: 23:45, 13. maj 2013 uredi Vinko48 (pogovor \| prispevki) 70 urejanj Brez povzetka urejanja ← Starejše urejanje		Redakcija: 17:46, 14. maj 2013 uredi razveljavi Vinko48 (pogovor \| prispevki) 70 urejanj →‎Uporaba v mikroelektroniki Novejše urejanje →
Vrstica 113: AsH<sub>3</sub> se uporablja pri sintezi polprevodniških materialov, povezanih z mikroelektroniko in z laserji trdnih snovi. V zvezi s fosforjem je arzen n-dopantom za silicij in germanij.<ref name="INRS"/> Še pomembneje je, da se AsH<sub>3</sub> uporablja za izdelavo polprevodniških GaAs za kemično parno nanašanje (CVD) pri 700-900 °C: ::Ga(CH<sub>3</sub>)<sub>3</sub> + AsH<sub>3</sub> → GaAs + 3 CH<sub>4</sub> Za uporabo v mikroelektroniki se lahko arzin oskrbuje preko vira bazičnega atmosferskega plina. Pri tej vrsti paketa plinov, arzin adsorbira na trden mikroporozen adsorbent znotraj jeklenke. Ta metoda omogoča, da se hrani brez pritiska, kar znatno zmanjša tveganje ~~puščanje~~puščanja arzin plina iz jeklenke. S to napravo se arzin pridobi z vakuumom na izhodnem ventilu plinske jeklenke. Za proizvodnjo polprevodnikov je ta metoda praktična, saj ti postopki običajno delujejo pod visokim vakuumom. ===Kemična bojna sredstva===

Arzin: Razlika med redakcijama